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湿式蚀刻清洁体系市场开展剖析

作者:admin  来源:   更新时间:2014-09-11  阅读数:409

蚀刻(etching)是将资料运用化学反响或物理碰击效果而移除的技能蚀刻一共有两大类,干式蚀刻和湿式蚀刻。湿式蚀刻清洁则是将蚀刻过程中发作的废气等清洁去掉,在蚀刻过程中具有重要的效果。

    尚普征询职业剖析师指出:湿式蚀刻首要要将化学蚀刻液分散至待蚀刻资料之外表,使蚀刻液与待蚀刻资料发作化学反响,等反响后之产物从蚀刻资料之外表分散至溶液中,并随溶液排出,具有低本钱、高可靠性、高产能及优胜的蚀刻挑选比的长处。

    湿式蚀刻的速率通常可藉由改动溶液浓度及温度予以控制。溶液浓度可改动反响物质抵达及脱离待蚀刻物外表的速率,一般来说,当溶液浓度添加时,蚀刻速率将会进步。而进步溶液温度可加快化学反响速率,进而加快蚀刻速率。尽管湿式蚀刻长处显著,但是相同存在缺点,如需花费较高本钱的反响溶液及去离子水,化学药品处置时人员所遭受的安全问题,光阻附着性问题,气泡构成及化学蚀刻液无法彻底与晶圆外表接触所形成的不彻底及不均匀的蚀刻,废气及潜在的爆炸性。正因如此,湿式蚀刻清洁体系的规划和开展就显得愈加重要。

    当时,湿式蚀刻清洁体系正在朝着愈加智能化和专业化的方向开展。一部湿式蚀刻清洁台最多有12个腔室。当前,每个腔室的废气仍需凭借多个废气体系进行铲除,其需求运用杂乱的变换模块以免管道内部呈现堆积。运用化学和物理吸附的两期间洗刷流程,在其源头从气流中直接铲除有害物质。凭借分离式出风口,有害气体从湿式蚀刻清洁台的加工腔室进入预洗刷器,后者经过运用喷嘴对气体进行预清洁。

    尚普征询发布的《wetbench(湿式蚀刻清洁体系)职业竞争对手及下流用户深度调查报告》显现:将来,湿式蚀刻清洁体系环保化,智能化和专业化的特点将愈加显着。经过削减占地面积和进步功率来下降铲除本钱将变成湿式蚀刻清洁体系职业开展的趋势。

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